伴隨光學系的升級,實現相比以往機型更高的靈敏度
對應nm級Au鍍層及數十nm Pd鍍層測量效率提升2倍以上
FT150L
對應600 mm×600 mm 大型線路板
配備防X射線泄漏的封閉結構樣品室
FT150H
對應微區(qū)Sn、Ag等鍍層測量
對應陶瓷電子組件端子、Sn-Ag無鉛焊錫等
FT150配備新型聚光光學系和更高規(guī)格的Vortex檢測器,能夠得到比以往機型更高強度的X射線熒光。
相比以往機型(FT9500X系列),對應微小金屬鍍層測量的效率提高2倍以上,在相同的測量時間下能夠提高其測量精度。
實現高精度并且高效的測量。
| 項目 | 描述 |
|---|---|
| X射線照射方向 | 上方照射式 |
| 上方照射式 | Al (13) ~ U(92) |
| 測定環(huán)境 | 大氣 |
| X射線發(fā)生部 | 45kV, 鉬Mo 靶材 |
| 設計 | 毛細管聚焦Poly-capillary |
| 管電流 | 1000μA 可變 |
| X射線檢測部 | Silicon Drift Detector (SDD) |
| 測定面積 | φ0.030mm(FWHM 0.017mm) |
| 樣品面積 | 長400mm、寬300mm、高200mm |
| 電動XY樣品臺驅動 移動范圍 | 400×300mm |
| CCD Camera | 1百萬相數 |
| 對焦模式 | 雷射自動對焦 |
| 測量模式 | Thin Film FP (5層, 10元素)/檢量線法 |
| 選配 | FT150H : 鎢W target FT150L : 鉬Mo target |





