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廣電計量檢測集團(tuán)股份有限公司

二手現(xiàn)貨 雙電子束電鏡 FEI XL830

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱青島佳鼎分析儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地青島市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2025/11/24 13:56:56
  • 訪問次數(shù)36
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青島佳鼎實驗室,坐落于城之向陽地——城陽。自2011年成立之初,便誓將科技之光照耀四方。
十年的時間里,公司因擴(kuò)展數(shù)度搬遷,最后選擇接受博士創(chuàng)業(yè)園的吸納并安家落戶。與此名交相輝映的是我們30余人的研發(fā)團(tuán)隊,也是以博士后為主。這就為我們今后的發(fā)展奠定了堅實的基礎(chǔ),使我們在未來的發(fā)展中,有底氣的大踏步前進(jìn)。目前,佳鼎實驗室已經(jīng)形成了一站式服務(wù),不僅有實驗室分析儀器設(shè)備的研發(fā)和銷售,更有實驗室的整體交付。做到了初時毛坯,再見時嚴(yán)謹(jǐn)整潔,隨時可以為人類健康貢獻(xiàn)自己的力量。
產(chǎn)品服務(wù)于各行各業(yè),從科研機(jī)構(gòu)到環(huán)境、食品,從醫(yī)藥生物到電子電器。我們從不止步于國內(nèi),放眼,我們聯(lián)合了包括美國賽默飛世爾、日本島津、在內(nèi)的多國實驗室,并且積累了大量的科研資料,在分析設(shè)備的研發(fā)領(lǐng)域做了大量的深度工作。
佳鼎實驗室堅信以質(zhì)量為生命,以客戶為中心的經(jīng)營理念,為打造實驗室建設(shè)規(guī)范化而不斷奮斗。

樣品容量:全200mm晶片、150mm晶片、晶片碎片和短柱安裝樣品
二手現(xiàn)貨 雙電子束電鏡 FEI XL830 產(chǎn)品信息

樣品容量:全200mm晶片、150mm晶片、晶片碎片和短柱安裝樣品。Loadlock允許樣本傳輸時間<2min;

操作平臺:在x軸和y軸上進(jìn)行200mm的平臺運(yùn)動。Z軸范圍15mm。連續(xù)旋轉(zhuǎn)。傾斜范圍-5至55度。精度<1um絕對平均值且<2um(85%公差間隔)超過25mm;

電子束性能:肖特基場發(fā)射槍,浸沒式最終透鏡分辨率3nm,5kV 5mm WD。電壓范圍為200V至30kV;

離子束性能:1500小時鎵離子源。7nm分辨率。工作電壓為5kV至30kV。束流1pA至11nA;

探測器:通過透鏡檢測器(TLD)和連續(xù)雙節(jié)點(diǎn)電子倍增器(CDEM)進(jìn)行二次電子、背散射電子和二次離子檢測。紅外CCD攝像機(jī),用于樣品的低倍率圖像;

束化學(xué):XeF2用于Si和SiO2研磨增強(qiáng)。離子束和電子束沉積六羰基鎢,用于沉積鎢金屬焊盤、通孔和線路。兩個額外氣體噴射器的容量。TEO用于沉積絕緣膜,H2O用于增強(qiáng)碳基材料的研磨,鉑和鉬用于沉積導(dǎo)線和通孔;

樣品操縱器:用于從晶圓基板提取銑削薄片樣品的軟件控制探針。

雙電子束電鏡 FEI XL830

打開側(cè)蓋FEI XL830系統(tǒng)內(nèi)部

打開后蓋的FEI XL830系統(tǒng)視圖

FEI XL830內(nèi)部圖

FIB截面

用于薄板提取的探針

加載鎖打開,放置晶片

15700106413
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