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日本twin nines納米表面粗糙度測(cè)量?jī)xNano Seven
Nanoseven 可以通過(guò)使用激光的非接觸式方法，在短時(shí)間內(nèi)，在大范圍內(nèi)以亞納米級(jí)精度測(cè)量待測(cè)物體的表面粗糙度和臺(tái)階高度。
引入 nanoseven 的 7 個(gè)好處
特點(diǎn) 1 縮短測(cè)量時(shí)間
只需 25 秒即可測(cè)量 100 µm x 100 µm 區(qū)域的表面粗糙度。*以 3µm 間距測(cè)量時(shí)。
AFM 通常需要大約 15 分鐘。
特點(diǎn) 2 寬范圍測(cè)量
Nanoseven 的測(cè)量范圍取決于樣品臺(tái)的可移動(dòng)區(qū)域。由于它可以在 X 軸（水平軸）上最多移動(dòng) 45 毫米，在 Y 軸（深度軸）上最多移動(dòng) 45 毫米，因此理論上可以在此范圍內(nèi)一次測(cè)量。此外，可以對(duì)樣品臺(tái)進(jìn)行大規(guī)模改造，從而可以測(cè)量更廣泛的范圍。
特殊功能 3 無(wú)需防震臺(tái)
Nanoseven采用的“光學(xué)外差干涉測(cè)量系統(tǒng)"不使用干涉條紋進(jìn)行測(cè)量，不像一般的白光干涉測(cè)量，因此它可以抵抗外部干擾的噪聲，并且不需要防振臺(tái)。
特點(diǎn) 4 輕松測(cè)量
原則上，不需要對(duì)測(cè)量對(duì)象進(jìn)行特殊預(yù)處理。此外，不使用真空設(shè)備。它具有易于操作的設(shè)計(jì)，無(wú)需專(zhuān)門(mén)的操作員即可操作。
特點(diǎn) 5 高分辨率
Nanoseven 使用光學(xué)外差干涉法，這是一種基于光波長(zhǎng)相位差的測(cè)量方法，因此可以以 0.1 nm（納米）或更小的高度分辨率進(jìn)行測(cè)量。
特點(diǎn) 6 非接觸式測(cè)量
Nanoseven 是一種使用紅色激光的非接觸式測(cè)量?jī)x器，因此不會(huì)對(duì)被測(cè)物體產(chǎn)生不利影響。此外，由于它是非接觸式的，因此與接觸式測(cè)量?jī)x器相比，可以進(jìn)行高速測(cè)量。激光輸出只有幾毫瓦，是一種節(jié)能安全的設(shè)計(jì)。
特點(diǎn)7 運(yùn)行成本低
安裝時(shí)無(wú)需隔振臺(tái)或真空設(shè)備等附帶設(shè)備，幾乎沒(méi)有耗材，購(gòu)買(mǎi)后可降低運(yùn)行成本。此外，由于不需要專(zhuān)門(mén)的操作員，也有助于降低人工成本。
日本twin nines納米表面粗糙度測(cè)量?jī)xNano Seven
規(guī)格
| 規(guī)格 表 | |
| 高度方向分辨率 | 0.1 納米（納米） |
| 標(biāo)準(zhǔn)高度測(cè)量范圍 | 0.5nm 至 300nm |
| 測(cè)量方法 | 非接觸式 |
| 行程 [*1] | X：45mm / Y：45mm |
| 光源 | 氦氖激光（632.8nm） |
| 物鏡 | 放大倍率 20X / NA 0.4 |
| 電源 | AC100V |
| 體重 | 約27公斤 |
| 配件 | 噪聲濾波器 |
| 外形尺寸 | 機(jī)身：W220×D550×H420mm 控制箱：W172×D350×H315mm |
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