在精細(xì)化工、半導(dǎo)體材料及特種氣體應(yīng)用領(lǐng)域，二氯硅烷(SiH?Cl?)作為一種關(guān)鍵的硅源材料，其高反應(yīng)活性、毒性及潛在的環(huán)境危害，對(duì)生產(chǎn)、儲(chǔ)存與使用環(huán)節(jié)的安全監(jiān)控提出了很高要求。此外，復(fù)雜的工藝環(huán)境中往往并存著多種危險(xiǎn)氣體。因此，能夠同步、連續(xù)、可靠地監(jiān)測(cè)多種氣體，成為現(xiàn)代工業(yè)安全管理的核心需求之一。
 

　　SGA-502/503/504系列固定式隔爆型多合一氣體檢測(cè)儀，正是為此類(lèi)復(fù)雜監(jiān)測(cè)場(chǎng)景而設(shè)計(jì)的集成化解決方案。該系列產(chǎn)品的優(yōu)勢(shì)在于其高度靈活的模塊化設(shè)計(jì)，允許用戶(hù)在一臺(tái)主機(jī)上，根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際風(fēng)險(xiǎn)，自由組合1至4種不同氣體傳感器。以二氯硅烷為監(jiān)測(cè)核心，可靈活搭配如氫氣(H?)、(HCl)、(HF)、硅烷(SiH?)、氧氣(O?)或可燃?xì)怏w(EX)等多種傳感器，實(shí)現(xiàn)“一機(jī)多點(diǎn)、全面監(jiān)測(cè)”，有效優(yōu)化監(jiān)測(cè)點(diǎn)位布局，降低綜合成本。
 

　　設(shè)備采用工業(yè)級(jí)鋁合金防爆外殼，具備ExdⅡCT6 Gb防爆等級(jí)及IP67高防護(hù)等級(jí)，確保在具有爆炸性危險(xiǎn)氣體的苛刻環(huán)境中穩(wěn)定、安全運(yùn)行。其搭載的智能傳感器支持即插即用與自動(dòng)識(shí)別，極大簡(jiǎn)化了后期傳感器更換、升級(jí)或維護(hù)的流程，提升了設(shè)備的可維護(hù)性與使用壽命。
 

　　核心性能參數(shù)概覽：
 

　　檢測(cè)氣體： 標(biāo)配二氯硅烷(SiH?Cl?)，可同時(shí)選配1-3種其他氣體(支持超過(guò)千種氣體組合)。
 

　　檢測(cè)原理： 依據(jù)氣體特性，可選電化學(xué)、催化燃燒、紅外、PID、半導(dǎo)體等多種技術(shù)。
 

　　二氯硅烷典型量程： 0-10 ppm 或 0-100 ppm(支持定制)。
 

　　分辨率： 可達(dá)0.01 ppm。
 

　　測(cè)量精度： ≤ ±3% 滿(mǎn)量程(FS)。
 

　　響應(yīng)時(shí)間： T?? ≤ 30秒(視具體氣體而定)。
 

　　顯示與報(bào)警： 2.4英寸高清彩屏，同屏顯示多氣體濃度、單位、狀態(tài)；聲(≥85dB)光一體化報(bào)警，報(bào)警點(diǎn)可分級(jí)設(shè)置。
 

　　信號(hào)輸出： 標(biāo)配4-20mA模擬信號(hào)與RS485數(shù)字信號(hào)(Modbus協(xié)議)，兼容各類(lèi)PLC、DCS、氣體報(bào)警控制器系統(tǒng)。
 

　　聯(lián)動(dòng)控制： 內(nèi)置2組繼電器(無(wú)源觸點(diǎn))，可設(shè)定在報(bào)警時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)風(fēng)機(jī)、關(guān)閉閥門(mén)等聯(lián)動(dòng)設(shè)備。
 

　　工作條件： 電壓DC 24V(12-30V)；溫度-20℃ ~ +50℃；濕度10-95%RH(非冷凝)，并可選配高溫、高濕、高塵等特殊環(huán)境套件。
 

　　數(shù)據(jù)功能： 支持大容量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)(可選配)，記錄報(bào)警、故障等事件日志。
 

　　主要應(yīng)用領(lǐng)域：
 

　　半導(dǎo)體與光伏制造： 監(jiān)測(cè)化學(xué)氣相沉積(CVD)設(shè)備、氣體輸送管線、硅烷類(lèi)氣體儲(chǔ)存區(qū)，防范SiH?Cl?、SiH?、H?等工藝氣體泄漏。
 

　　多晶硅與電子級(jí)硅材料生產(chǎn)： 監(jiān)控還原、氫化、精餾及尾氣回收等工序。
 

　　特種化學(xué)品合成： 生產(chǎn)有機(jī)硅中間體、氯硅烷衍生物的化工車(chē)間。
 

　　氣體供應(yīng)與存儲(chǔ)： 特種氣體庫(kù)、氣瓶?jī)?chǔ)存間、管道走廊的綜合性安全監(jiān)控。
 

　　研發(fā)實(shí)驗(yàn)室： 涉及高活性、有毒氣體操作的實(shí)驗(yàn)環(huán)境安全防護(hù)。
 

　　SGA-504系列多合一氣體檢測(cè)儀，憑借其可定制化的氣體監(jiān)測(cè)組合、可靠的工業(yè)級(jí)防護(hù)與智能化的維護(hù)管理，為涉及二氯硅烷及其他多種危險(xiǎn)氣體的制造與科研領(lǐng)域，提供了高效、集約且可靠的安全監(jiān)測(cè)保障，助力企業(yè)構(gòu)建全面、主動(dòng)的安全生產(chǎn)防線。